申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117798619A

主分类号：B23P19/00

分类号：B23P19/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开一种半导体工艺设备用引导装置，所述引导装置包括底座以及设于所述底座的外管定位凸起和第一定位件；所述外管定位凸起用于与所述半导体工艺设备的外管组件的管口配合，所述第一定位件用于与所述外管组件的第一定位部定位配合，以限制所述外管组件相对于所述外管定位凸起转动。上述方案可以解决相关技术中外管组件在抬升的过程中发生转动，而导致外管组件位置偏差较大的问题。

主权项：1.一种半导体工艺设备用引导装置，其特征在于，所述引导装置包括底座210以及设于所述底座210的外管定位凸起220和第一定位件230；所述外管定位凸起220用于与所述半导体工艺设备的外管组件110的管口配合，所述第一定位件230用于与所述外管组件110的第一定位部111a定位配合，以限制所述外管组件110相对于所述外管定位凸起220转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备用引导装置

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