申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2022-09-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117847247A

主分类号：F16K3/02

分类号：F16K3/02;F16K31/04;F16K31/122;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种半导体设备及其门阀机构，门阀机构包括密封门体和一体式的门阀组件，门阀组件与工艺腔室设置有传输口的端面密封设置，门阀组件中设置有传输通道，传输通道通过传输口与工艺腔室内部连通；门阀组件的背离工艺腔室的表面上还设置有容纳空间，容纳空间在垂直于传输通道的延伸方向上与传输通道错位设置，容纳空间用于容纳密封门体；密封门体上设置有密封件，密封件用于与传输通道的背离工艺腔室的端面密封；门阀组件还包括驱动组件，驱动组件与密封门体连接，用于驱动密封门体移动以密封传输通道，或者移动至容纳于容纳空间内。本发明提供的半导体设备及其门阀机构，能够降低密封失效的概率，延长维护周期。

主权项：1.一种半导体设备的门阀机构，所述半导体设备包括用于进行半导体工艺的工艺腔室，所述工艺腔室设置有供晶圆传输的传输口，其特征在于，所述门阀机构包括密封门体和一体式的门阀组件，所述门阀组件与所述工艺腔室设置有所述传输口的端面密封设置，所述门阀组件中设置有传输通道，所述传输通道通过所述传输口与所述工艺腔室内部连通；所述门阀组件的背离所述工艺腔室的表面上还设置有容纳空间，所述容纳空间在垂直于所述传输通道的延伸方向上与所述传输通道错位设置，所述容纳空间用于容纳所述密封门体；所述密封门体上设置有密封件，所述密封件用于与所述传输通道的背离所述工艺腔室的端面密封；所述门阀组件还包括驱动组件，所述驱动组件与所述密封门体连接，用于驱动所述密封门体移动以密封所述传输通道，或者移动至容纳于所述容纳空间内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体设备及其门阀机构

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