申请/专利权人：昆山集晨智能装备有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220736714U

主分类号：B01D46/02

分类号：B01D46/02;C23C16/455;B01D46/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及清洁装置技术领域，且公开了一种板式ALD腔体的清理装置，包括腔体，所述腔体侧壁中央开设有圆形开孔，所述圆形开孔四周固定连接有传送滑道，所述传送滑道内滑动连接有滑动支架，所述滑动支架中央开有孔洞，所诉孔洞内壁活动连接有滤袋，所述滑动支架靠近腔体圆形开孔一侧固定连接有折叠管道，所述腔体外部环绕圆形开孔设置有更换装置，所述更换装置远离腔体一侧固定连接有动力装置，所述折叠管道一端与滑动支架固定连接，另一端与动力装置靠近腔体一侧固定连接，通过以上结构相互配合可以实现收集粉尘并进行全方位清理的目的。

主权项：1.一种板式ALD腔体的清理装置，包括腔体1，其特征在于：所述腔体1侧壁中央开设有圆形开孔，所述圆形开孔四周固定连接有传送滑道2，所述传送滑道2内滑动连接有滑动支架3，所述滑动支架3中央开有孔洞，所诉孔洞内壁活动连接有滤袋301，所述滑动支架3靠近腔体1圆形开孔一侧固定连接有折叠管道4，所述腔体1外部环绕圆形开孔设置有更换装置5，所述更换装置5远离腔体1一侧固定连接有动力装置6，所述折叠管道4一端与滑动支架3固定连接，另一端与动力装置6靠近腔体1一侧固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山集晨智能装备有限公司 一种板式ALD腔体的清理装置

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