申请/专利权人：东领科技装备有限公司

申请日：2023-07-31

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220596554U

主分类号：B65H23/34

分类号：B65H23/34;B65H19/30;B65H18/02;B08B5/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型属于卷料机构技术领域，公开了一种ALD设备用镀膜卷料机构，包括底板，底板的上表面焊接有第一支架和第二支架，第一支架和第二支架的内侧设置有压平轮，第一支架和第二支架的内部设置有调节机构，底板的上表面且位于第一支架和第二支架的后方固定安装有U型支架，U型支架的内侧设置有吸尘组件，底板的上表面且位于U型支架的后方固定安装有固定支架，固定支架的内部固定安装有第二电机，第二电机的输出轴固定安装有转轴，转轴的表面固定安装有收卷轮，固定支架的侧面设置有限位机构，本实用新型通过调节机构可以调整两个压平轮之间的压平间隙，能够根据镀膜的厚度调整两个压平轮之间的压平间隙，适用性大大提高。

主权项：1.一种ALD设备用镀膜卷料机构，包括底板1，其特征在于：所述底板1的上表面焊接有第一支架2和第二支架3，所述第一支架2和所述第二支架3的内侧设置有压平轮4，所述第一支架2和所述第二支架3的内部设置有能够调整压平轮4水平位置的调节机构5，所述底板1的上表面且位于第一支架2和第二支架3的后方固定安装有U型支架6，所述U型支架6的内侧设置有吸尘组件7，所述底板1的上表面且位于U型支架6的后方固定安装有固定支架8，所述固定支架8的内部固定安装有第二电机9，所述第二电机9的输出轴固定安装有转轴10，所述转轴10的表面固定安装有收卷轮11，所述固定支架8的侧面设置有限位机构12。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东领科技装备有限公司 一种ALD设备用镀膜卷料机构

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