申请/专利权人：艾华(无锡)半导体科技有限公司

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117873222A

主分类号：G05D23/22

分类号：G05D23/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及ALD设备温度控制技术领域，具体为一种基于权重分配和PID算法的ALD设备温度控制方法，包括以下步骤：S1、通过加热棒布置实现输出层的权重分配；S2、通过函数计算实现反馈层的权重分配；S3、PID控制层运用经过温区权重再分配后的区域温度反馈和加热棒的本体温度反馈实现串级PID控制。本发明的实施方式提供的一种基于权重分配和PID算法的ALD设备温度控制方法通过权重分配，使各温区之间相互耦合，避免了各PID控制单元各自控制时，由于加热速率的区别产生的相互影响，避免各温区热扩散后的过温现象；本发明采用串级PID控制，各温区反馈给PID控制单元的区域温度作为PID控制的外环，加热棒反馈的本体温度作为PID控制的内环，有效缓解温度控制的滞后性。

主权项：1.一种基于权重分配和PID算法的ALD设备温度控制系统，其特征在于，包括输出层、反馈层、权重分配层和PID控制层，所述输出层包括设置在多个温区内的多个加热棒，所述反馈层包括设置在多个温区内的多个热电偶，所述热电偶用于反馈温区区域温度及加热棒本体温度，所述权重分配层包括多个权重分配单元，所述权重分配层将温区的直接反馈和所述PID控制层的反馈需求隔离开，所述PID控制层包括多个PID控制单元，所述PID控制层运用经过温区权重再分配后的区域温度反馈和加热棒的本体温度反馈实现串级PID控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾华(无锡)半导体科技有限公司 一种基于权重分配和PID算法的ALD设备温度控制系统及方法

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