申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司

申请日：2021-10-18

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN113921438B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.01.28#实质审查的生效;2022.01.11#公开

摘要：本发明公开了一种多尺寸晶圆对中装置，该装置包括吸盘机构、上转板、移动板、夹紧机构、驱动机构及升降机构；吸盘机构包括承载柱及吸盘，上转板和移动板均套设在承载柱的外部；上转板上开设有传动弧形槽和驱动弧形槽；夹紧机构设置在移动板的上方，夹紧机构包括若干个夹紧组件，夹紧组件的一端安装在移动板上，夹紧组件的另一端穿设在传动弧形槽内；驱动机构包括支撑板、调节板、顶板、安装板、复位弹簧及驱动组件；升降机构包括伺服电机Ⅱ、安装架及偏心凸轮，伺服电机Ⅱ的输出端穿过安装架后与偏心凸轮相连，偏心凸轮安装在支撑板上；本专利可实现多种规格晶圆尺寸的快速对中和定位，以解决高洁净环境条件下晶圆的对中定位问题。

主权项：1.一种多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：该装置包括吸盘机构、上转板、设置在上转板下方的移动板、夹紧机构、用于驱动夹紧机构的驱动机构及升降机构；吸盘机构包括承载柱及吸盘，吸盘设置在承载柱的上方，上转板和移动板均套设在承载柱的外部，吸盘设置在上转板的上方，承载柱通过承重架与升降机构相连；上转板上开设有若干个传动弧形槽，若干个传动弧形槽关于上转板的中心对称分布，上转板上还设置有驱动弧形槽；夹紧机构设置在移动板的上方，夹紧机构包括若干个夹紧组件，夹紧组件的一端安装在移动板上，夹紧组件的另一端一一对应的穿设在传动弧形槽内；驱动机构包括支撑板、垂直设置在支撑板一侧的调节板、安装在支撑板和调节板上方的顶板、安装板、复位弹簧及驱动组件，顶板上开设有导向槽，移动板安装在顶板的上方，且移动板随顶板的运动而运动；驱动组件包括伺服电机Ⅰ、皮带、丝杠、传动螺母及滑块Ⅰ，伺服电机Ⅰ安装在安装板上，伺服电机Ⅰ的输出端穿过安装板与主动轮相连，传动轮套设在丝杠的一端，伺服电机Ⅰ的输出端通过皮带与丝杠相连，皮带绕设在主动轮和传动轮的外侧；丝杠的另一端穿过安装板，传动螺母安装在丝杠上且传动螺母可随丝杠的转动沿丝杠的长度方向进行运动，滑块Ⅰ安装在传动螺母的上方，滑块Ⅰ的上方设置有传动柱，传动柱的底端与滑块Ⅰ相连，传动柱的顶端依次穿过导向槽及移动板后设置在驱动弧形槽内；当需对晶圆进行夹紧或松开时，伺服电机Ⅰ驱动传动柱进行直线运动，传动柱在驱动弧形槽内移动进而带动上转板旋转，上转板旋转带动夹紧组件沿着对应的传动弧形槽运动完成对晶圆的夹紧或松开；升降机构包括伺服电机Ⅱ、安装架及偏心凸轮，伺服电机Ⅱ安装的安装架上，伺服电机Ⅱ的输出端穿过安装架后与偏心凸轮相连，偏心凸轮安装在支撑板上；当伺服电机Ⅱ驱动偏心凸轮转动时，当凸轮面转到顶端，偏心凸轮带动支撑板向上运动，当凸轮面转到底端，偏心凸轮带动支撑板向下运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种多尺寸晶圆对中装置

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