申请/专利权人：中山市浩晨科技有限公司

申请日：2023-07-04

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651973U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种新型硅片花篮，包括花篮侧板，支撑杆，齿条，存储空间，以及设于齿条和花篮侧板之间的定位机构；定位机构包括用于沿齿条轴向方向拉紧齿条以使齿条处于拉伸状态的连接机构，连接机构包括固定机构，以及拉伸机构；本实用新型通过支撑杆连接并顶压两花篮侧板以固定两花篮侧板之间的相对位置，通过固定机构使齿条一端与花篮侧板固定连接以限制齿条和花篮侧板之间的相对位置，并通过拉伸机构使齿条另一端与另一花篮侧板连接，进而使齿条沿其轴向方向拉紧，并保持处于拉伸状态，减少了齿条因受到过大的压力或摩擦力而变形的问题，提高了硅片移动的稳定性，减少了硅片在加工过程中受损，提高了硅片的加工质量和效率。

主权项：1.一种新型硅片花篮，其特征在于：包括花篮侧板1，设于两所述花篮侧板1之间的支撑杆2，齿条3，多个所述齿条3围设以形成用于供硅片插入的存储空间4，以及设于所述齿条3和所述花篮侧板1之间并用于两者可拆卸连接的定位机构5；所述定位机构5包括用于沿所述齿条3轴向方向拉紧所述齿条3以使所述齿条3处于拉伸状态的连接机构6，所述连接机构6包括用于使所述齿条3一端与所述花篮侧板1连接的固定机构61，以及用于使所述齿条3另一端与另一所述花篮侧板1连接的拉伸机构62。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中山市浩晨科技有限公司 一种新型硅片花篮

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