申请/专利权人:成都态坦测试科技有限公司
申请日:2023-12-29
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN117849584A
主分类号:G01R31/28
分类号:G01R31/28;H05K7/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开
摘要:本发明公开一种半导体芯片老化测试柜,包括:外柜;内胆,设置于所述外柜内,所述内胆的外壁与所述外柜的内壁之间形成风道,所述内胆的一侧为与所述风道连通的进风侧,另一侧为与所述风道连通的出风侧;风机组件,安装于所述外柜上,用于控制所述风道中的气流速度;控温组件,设置于所述风道中,用于控制所述风道中气体的温度;多层老化测试板,设置于所述内胆中且沿竖直方向依次间隔布置;多个吹风组件,每一个所述吹风组件对应与一层所述老化测试板上下设置,用以朝向所述老化测试板垂直吹风。本发明半导体芯片老化测试柜适用于高功率芯片的大批量测试,增加高功率芯片的同测数量,提升测试效率,提高测试产能,以满足市场供应需求。
主权项:1.一种半导体芯片老化测试柜,其特征在于,包括:外柜;内胆,设置于所述外柜内,所述内胆的外壁与所述外柜的内壁之间形成风道,所述内胆的一侧为与所述风道连通的进风侧,另一侧为与所述风道连通的出风侧;风机组件,安装于所述外柜上,用于控制所述风道中的气流速度;控温组件,设置于所述风道中,用于控制所述风道中气体的温度;多层老化测试板,设置于所述内胆中且沿竖直方向依次间隔布置;多个吹风组件,每一个所述吹风组件对应与一层所述老化测试板上下设置,用以朝向所述老化测试板垂直吹风。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 成都态坦测试科技有限公司 半导体芯片老化测试柜
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