申请/专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117656037B

主分类号：B25J9/00

分类号：B25J9/00;B25J15/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明公开了一种自适应抓取晶圆双臂搬运机器人，涉及晶圆搬运领域。现提出如下方案，其包括基座，上端设有伸缩部，所述伸缩部上端转动连接有机械臂；输送状态采集模块，固定于机械臂表面，获取抖动高度和安全装载高度；调整模块，将抖动高度与安全装载高度作比对，判定是否生成调节指令；中央处理器，根据调节指令对机械臂抓取范围自适应调节。通过采集晶圆输送时产生的抖动高度、安全抓取区域直径和安全装载高度，根据抖动高度生成调节指令，根据调节指令对机械臂抓取范围自适应调节。

主权项：1.一种自适应抓取晶圆双臂搬运机器人，其特征在于，包括：基座（1），上端设有伸缩部（2），所述伸缩部（2）上端转动连接有机械臂；输送状态采集模块，固定于机械臂表面，用于获取抖动高度和安全装载高度；调整模块，用于将抖动高度与安全装载高度作比对，判定是否生成调节指令；中央处理器，根据调节指令对机械臂抓取范围自适应调节；机械臂包括抓取臂（5），所述抓取臂（5）包括：连接座（51），端部固定有指托（52），所述指托（52）内滑动密封连接有第一抓取指（53）和第二抓取指（54），所述第一抓取指（53）与第二抓取指（54）相对面皆呈锯齿状；传动齿轮（57），转动连接在指托（52）上，且所述传动齿轮（57）分别与第一抓取指（53）和第二抓取指（54）的相对面啮合；输送状态采集模块包括高度采集模块和视频采集模块，高度采集模块用于获取抓取臂（5）的高度值，标记为，为大于等于0的整数，获取抓取臂（5）的上下活动区间，上下活动区间表达式为：，其中，为上下活动区间的最小高度值，为上下活动区间的最大高度值，和皆为大于等于0的整数；视频采集模块用于获取晶圆到达或前后的组图片数据及图片数据对应的采集时间，图片数据包括晶圆盒图像与晶圆图像，即视频采集模块正对晶圆盒与晶圆所获取的平面图像；建立平面坐标系，将晶圆图像与晶圆盒图像输入平面坐标系；提取晶圆盒图像中相邻两个托盘相对边缘的两个像素点坐标，计算相邻两个托盘相对边缘的两个像素点坐标差值绝对值，作为安全装载高度，标记为，为大于0的数值；将组晶圆图像输入平面坐标系后，按照晶圆图像的采集时间先后顺序，依次获取晶圆图像中相同位置的边缘像素点坐标，得到个边缘像素点坐标，提取个边缘像素点坐标中Y轴坐标，将Y轴坐标最小的值标记为，将Y轴坐标最大的值标记为，和为大于等于0的整数；将减去得到的差值作为抖动高度，标记为，为大于0的数值。

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权利要求：

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