申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117549327B

主分类号：B25J11/00

分类号：B25J11/00;B25J15/06;B65G47/91;B65G49/07

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明公开了大行程晶圆搬运机器人，涉及晶圆搬运技术领域，大行程晶圆搬运机器人包括运移组件和搬运组件，运移组件用于搬运组件在空间上移动，搬运组件包括搬运基板，搬运基板一端延伸设有平行设置的搬运杆，搬运杆套设有吸附件，吸附件包括第一套体，搬运杆套设在第一套体的内部；第一套体侧方设有吸附基台，吸附基台相对两侧设有吸附副台，吸附副台配置有辅助件，辅助件内部配置有与外界连通的气路。本发明的目的在于提供一种大行程晶圆搬运机器人，能够实现对晶圆的大批量、高稳定性搬运，提高搬运效率，并可扩大使得晶圆移动的范围、提升搬运灵活性。

主权项：1.大行程晶圆搬运机器人，包括运移组件（1）和搬运组件（2），所述运移组件（1）用于搬运组件（2）在空间上移动，其特征在于，所述搬运组件（2）包括搬运基板（21），所述搬运基板（21）一端延伸设有平行设置的搬运杆（22），所述搬运杆（22）套设有吸附件（3），所述吸附件（3）包括第一套体（31），所述搬运杆（22）套设在所述第一套体（31）的内部；所述第一套体（31）侧方设有吸附基台（32），所述吸附基台（32）相对两侧设有吸附副台（33），所述吸附副台（33）配置有辅助件（4），所述辅助件（4）内部配置有与外界连通的气路；所述吸附副台（33）延伸设有延伸板（34），延伸板（34）的上表面低于吸附副台（33）的上表面；所述延伸板（34）设有安装孔（35），所述辅助件（4）设于所述安装孔（35）内部；所述辅助件（4）包括辅助筒体（41），所述辅助筒体（41）贯穿安装孔（35）设置，所述辅助筒体（41）一端为开放端（42），所述开放端（42）延伸设有延伸环；所述辅助筒体（41）另一端连接有辅助气管（43），所述辅助筒体（41）远离开放端（42）的一侧设有装配盘（44），所述装配盘（44）套设在所述辅助气管（43）的外侧；所述运移组件（1）包括第一移动组件（11），所述第一移动组件（11）上配合设有第一移动板（12），所述第一移动板（12）上设有旋转电机（13），所述旋转电机（13）上设有第二移动组件（14），所述第二移动组件（14）上配合设有第二移动板（15），所述第二移动板（15）一侧固设有基板（16）；所述基板（16）一侧设有不少于两个的伸缩件（17），所述伸缩件（17）端部连接搬运基板（21），所述搬运基板（21）靠近伸缩件（17）一侧设有滑移块（23），所述基板（16）上设有与滑移块（23）相配合的滑槽（18）。

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