申请/专利权人：优尼科(青岛)微电子有限公司

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117824834A

主分类号：G01J3/28

分类号：G01J3/28;G01J3/45

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明主要提供了一种可抑制中心波长漂移的MEMS光谱成像系统及方法，属于光谱测量成像校准技术领域，将MEMS法布里珀罗干涉腔安装于图像传感器CMOS与光学成像镜头之间，在光学成像镜头内对光束进行校准，使得通过腔体的光束的主光线以平行于法布里珀罗干涉腔玻璃平片的法线方向进入，使得每个视场经过法布里珀罗干涉腔的主光线的光程之间的差异小于2％。本发明在面曝光的场景下，提出了一种可以从根本上实现基于MEMS光谱成像的中心波长漂移抑制的系统与方法，光谱漂移的程度降低了20倍；极大的提升了基于MEMS实现面曝光的光谱成像相机的实用性、经济性、准确性和可靠性。

主权项：1.一种可抑制中心波长漂移的MEMS光谱成像系统，光谱成像系统结构包括光学成像镜头、MEMS法布里珀罗干涉腔和图像传感器CMOS，其特征在于：将MEMS法布里珀罗干涉腔安装于图像传感器CMOS与光学成像镜头之间，所述光学成像镜头内设置有纠正镜头系统，所述纠正镜头系统用于对光束校准，使得通过腔体的光束的主光线以平行于法布里珀罗干涉腔玻璃平片的法线方向进入，使得每个视场经过法布里珀罗干涉腔的主光线的光程之间的差异小于2％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 优尼科(青岛)微电子有限公司 一种可抑制中心波长漂移的MEMS光谱成像系统及方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD