申请/专利权人：菲特晶(南京)电子有限公司

申请日：2023-12-05

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117825117A

主分类号：G01N1/28

分类号：G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34;G01N21/84

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.05#公开

摘要：本发明公开了一种关于石英湿法刻蚀后刻蚀形貌观察的工艺，包括以下步骤：步骤一：在通过不同的腐蚀条件，获得一批需要测量刻蚀形貌的石英试样；步骤二：针对石英试样放入模具中，倒入按一定配比混合而成的环氧树脂及固化剂，放入真空抽泡箱中进行抽泡，最后放置使其凝固，得到所需样品；步骤三：针对原始试样进行表面四道打磨，分别得到一道、二道、三道、四道打磨后的试样；步骤四：针对四道打磨后的试样进行抛光，得到抛光后的试样；步骤五：针对抛光后的试样进行表面清洗。本发明通过环氧树脂将刻蚀后石英样品制作成样品，之后进行研磨抛光，使得石英样品的刻蚀形貌被清晰显露出来，有利于更好地分析其在湿法腐蚀过程中的刻蚀特征。

主权项：1.一种关于石英湿法刻蚀后刻蚀形貌观察的工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：在通过不同的腐蚀条件，获得一批需要测量刻蚀形貌的石英试样；步骤二：针对石英试样放入模具中，倒入按一定配比混合而成的环氧树脂及固化剂，放入真空抽泡箱中进行抽泡，最后放置使其凝固，得到所需样品；步骤三：针对原始试样进行表面四道打磨，分别得到一道、二道、三道、四道打磨后的试样；步骤四：针对四道打磨后的试样进行抛光，得到抛光后的试样；步骤五：针对抛光后的试样进行表面清洗，得到表面清洁且无污染的试样；步骤六：针对所述表面清洁且无污染的试样放入显微镜下进行观察，测量，得到所需形貌图及数据。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 菲特晶(南京)电子有限公司 一种关于石英湿法刻蚀后刻蚀形貌观察的工艺

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